Zweiachsiges Marmor-Linearmotormodul

Dieses zweiachsige Marmor-Linearmotormodul basiert auf einer Granitbasis der Güteklasse 00 (ausgewählt aufgrund seines niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und seiner Vibrationsdämpfungseigenschaften) und integriert zwei Hochleistungslinearmotorachsen mit Luftlagerführungen, um eine Wiederholgenauigkeit von ±0,5 μm zu liefern – ideal für Halbleiterlithographie, Lasermikrobearbeitung, optische Inspektion und Präzisionsmesssysteme.

Unser zweiachsiges Marmor-Linearmotormodul wurde entwickelt, um die Einschränkungen von zweiachsigen Tischen auf Aluminium- oder Stahlbasis (Wärmedrift, Vibration, geringe Steifigkeit) zu überwinden. Es eliminiert mechanische Verformungen bei Hochgeschwindigkeitsbewegungen (bis zu 2 m/s pro Achse) und sorgt für eine gleichbleibende Präzision bei allen Betriebstemperaturen (-10 °C bis 40 °C). Das X-Y-Achsen-Synchronsteuerungssystem (EtherCAT-basiert) ermöglicht eine Bewegungssynchronisation auf Nanometerebene, die für hochpräzise Prozesse wie 7-nm-Chip-Packaging, die Herstellung mikrooptischer Komponenten und fortschrittliche 3D-Messungen von entscheidender Bedeutung ist.

Das nach den optischen Qualitätsstandards ISO 9001:2015 und ISO 10110 hergestellte zweiachsige Marmor-Linearmotormodul verfügt über ein versiegeltes Kabelmanagementsystem, eine antistatische Beschichtung und vakuumkompatible Optionen (für den Einsatz in Halbleiter-Reinräumen). Es ist mit branchenführenden Bewegungssteuerungen (Aerotech, PI, Newport) und Messsystemen (Laserinterferometer von Renishaw) kompatibel und lässt sich nahtlos in hochpräzise Fertigungslinien integrieren. Dadurch wird die Prozessausbeute im Vergleich zu herkömmlichen zweiachsigen Tischen auf Metallbasis um bis zu 20 % verbessert.

Produktserie

DT-GM-DX1-Serie (Kompakte Präzision)

X-Y-Verfahrbereich: 100×100 mm bis 500×500 mm, ±0,5 μm Wiederholgenauigkeit, 1 m/s maximale Geschwindigkeit pro Achse. Ideal für die Bearbeitung mikrooptischer Komponenten, Präzisionsmesstechnik und kleinformatige Halbleiterverpackungen.

DT-GM-DX2-Serie (Mittelklasse-Hochgeschwindigkeit)

X-Y-Verfahrbereich: 500×500 mm bis 1000×1000 mm, ±1 μm Wiederholgenauigkeit, 2 m/s maximale Geschwindigkeit pro Achse. Geeignet für die Lasermikrobearbeitung, die Reparatur von LCD-Panels und die optische Inspektion im Mittelformat.

DT-GM-DX-VAC-Serie (Vakuumkompatibel)

X-Y-Verfahrbereich: 100×100 mm bis 800×800 mm, Wiederholgenauigkeit ±0,5 μm, Vakuumleistung 10⁻⁶ mbar. Entwickelt für Halbleiter-Reinraumanwendungen, Vakuumbeschichtung und Weltraumsimulationssysteme.

Kernvorteile

1. Granitbasis der Güteklasse 00 für unübertroffene Stabilität

Die Basis besteht aus natürlichem Granit der Güteklasse 00 (Wärmeausdehnungskoeffizient ≤0,5×10⁻⁶/℃) und bietet außergewöhnliche thermische Stabilität (≤0,001 mm/℃) und Vibrationsdämpfung (dämpft 80 % der hochfrequenten Vibrationen). Dies eliminiert thermische Drift und mechanische Resonanz – häufige Probleme bei Tischen auf Metallbasis – in hochpräzisen Fertigungsprozessen.

2. Präzision im Submikrometerbereich mit luftgelagerten Führungen

Integrierte luftgelagerte Linearführungen (anstelle herkömmlicher Kugellager) eliminieren Reibung und Verschleiß und erreichen eine wiederholbare Positionierungsgenauigkeit von ±0,5 μm und eine Auflösung von 1 nm (über Absolutwertgeber von Renishaw). Das berührungslose Design gewährleistet einen wartungsfreien Betrieb über 100 Millionen Zyklen, was für die hochpräzise Produktion hoher Stückzahlen von entscheidender Bedeutung ist.

3. Synchrone Bewegungssteuerung der X-Y-Achse

Die EtherCAT-basierte Echtzeit-Bewegungssteuerung ermöglicht eine Synchronisierung auf Nanometerebene zwischen X- und Y-Achsen (Synchronisationsfehler ≤50 nm) und unterstützt komplexe Bewegungsprofile (Kreisinterpolation, Spiralscanning), die für die Lasermikrobearbeitung und optische Strukturierung erforderlich sind. Die offene Architektur ist mit Bewegungssoftware von Drittanbietern (LabVIEW, MATLAB) kompatibel.

4. Hohe Steifigkeit und geringe Verformung

Die verstärkte Granitstruktur mit integrierten Rippen sorgt für eine Steifigkeit von ≥300 N/μm und minimiert die Durchbiegung unter dynamischen Belastungen (bis zu 50 kg pro Achse). Diese Stabilität gewährleistet eine gleichbleibende Präzision auch bei Hochgeschwindigkeitsbeschleunigungen (1 g), wodurch Prozessschwankungen reduziert und die Produktausbeute verbessert werden.

5. Anpassbar für Ultrapräzisionsanwendungen

Vollständige Anpassung des Verfahrbereichs (100×100 mm bis 1000×1000 mm), der Encoderauflösung (1 nm bis 1 μm), der Vakuumkompatibilität (10⁻³ bis 10⁻⁶ mbar) und der Oberflächenbeschaffenheit (Ra ≤ 0,02 μm). Zu den optionalen Funktionen gehören eine antistatische Beschichtung, reinraumkompatible Materialien und eine integrierte Laserinterferometrie für die In-situ-Kalibrierung.

6. Zuverlässigkeit auf Industrieniveau für den Einsatz in Reinräumen

Schutzart IP67 (Standard) / IP68 (Vakuumversion), antistatische Beschichtung (10⁶-10⁹ Ω/sq) und geringe Partikelemission (Reinraumklasse 1 konform) machen es für Halbleiterfabriken und Reinräume der optischen Fertigung geeignet. MTBF ≥40.000 Stunden im Dauerbetrieb, wodurch die Gesamtbetriebskosten (TCO) über 5 Jahre um 30 % gesenkt werden.

Technische Spezifikationen

Granitbasis (Klasse 00) ±0,5 μm WiederholpositionierungsgenauigkeitX-Y-Achsen-SynchronbewegungThermische Stabilität (≤0,001 mm/℃)Hohe Steifigkeit (≥300 N/μm)

Anwendungsszenarien

Die zweiachsigen Marmor-Linearmotormodule von Deaote sind für die hochpräzise Fertigung in globalen High-Tech-Sektoren konzipiert:

● Halbleiter und Mikroelektronik: 7-nm-/5-nm-Chipverpackung, Wafer-Inspektion, Lithographieausrichtung, Herstellung von MEMS-Geräten

● Optische Fertigung: Bearbeitung mikrooptischer Komponenten (Linsen, Prismen), Montage von Glasfaserarrays, Laserstrukturierung von Glassubstraten

● Präzisionsmesstechnik: Optische 3D-Messung, Bewegungstische von Koordinatenmessgeräten (KMG), Oberflächenprofilierung im Nanometerbereich

● Laser-Mikrobearbeitung: Laserablation, Mikrobohren, Präzisionsgravur von harten Materialien (Silizium, Saphir, Keramik)

● Luft- und Raumfahrt und Verteidigung: Herstellung von Mikrosensoren, Kalibrierung von Trägheitsnavigationskomponenten, Montage optischer Satellitensysteme

Über Deaote

Suzhou Deaote Precision Mould Co., Ltd. ist ein führendes High-Tech-Unternehmen, das sich auf Forschung und Entwicklung, Herstellung und Vertrieb von hochpräzisen Bewegungskomponenten spezialisiert hat – mit Schwerpunkt auf Linearmotormodulen auf Granitbasis für globale Halbleiter-, Optik- und Luft- und Raumfahrtmärkte. Mit über 15 Jahren Erfahrung in der Konstruktion von Präzisionsformen und hochpräzisen Bewegungssystemen bedienen wir Kunden in hochwertigen Fertigungssektoren in Europa, Nordamerika, Japan und Korea.

Unsere zweiachsigen Marmor-Linearmotormodule werden in unserem speziellen Forschungs- und Entwicklungslabor für ultrapräzise Bewegungen entwickelt und nutzen dabei fortschrittliche Granitbearbeitung (±0,001 mm Toleranz), Laserkalibrierung und Luftlager-Montagetechnologien, um eine Genauigkeit im Submikrometerbereich zu erreichen. Wir bieten umfassende kundenspezifische Dienstleistungen an – vom Moduldesign und Prototyping bis hin zur Kalibrierung vor Ort und dem globalen technischen Support – und stellen so sicher, dass unsere Lösungen den einzigartigen Anforderungen von Ultrapräzisionsfertigungslinien gerecht werden.

Deaote engagiert sich für „Präzision im Nanometerbereich, Stabilität ein Leben lang“ und investiert 20 % des Jahresumsatzes in Forschung und Entwicklung, um hochpräzise Bewegungslösungen der nächsten Generation zu entwickeln. Unsere nach ISO 9001:2015 und ISO 10110 zertifizierte Produktionsstätte und unser globales Servicenetzwerk gewährleisten schnelle Reaktionszeiten (≤48 Stunden) und lokalen technischen Support und machen uns zu einem vertrauenswürdigen Partner für Hersteller von High-End-Ultrapräzisionsgeräten weltweit.