XYZT-Gantry-Bewegungstisch für die Wafer-Inspektion
Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. mit Sitz im Bezirk Wuzhong der Stadt Suzhou, Provinz Jiangsu, ist ein führender Hersteller von hochpräzisen XYZT-Portalbewegungstischen für Wafer-Inspektionsanwendungen. Mit über 18 Jahren Erfahrung in der Präzisionsbearbeitung und Bewegungssteuerung sind wir auf die Herstellung kundenspezifischer 4-Achsen-Portalpositionierungssysteme (X/Y/Z/Theta) spezialisiert, die eine Genauigkeit im Submikrometerbereich für 200-mm-, 300-mm- und 450-mm-Wafer-Inspektionsgeräte liefern.
Unser XYZT-Gantry-Bewegungstisch für die Wafer-Inspektion integriert hochsteife Granitbasen, Luftlagerführungen, Linearmotorantriebe und präzise optische Encoder, um eine Positionierungsgenauigkeit von ±1 µm und eine Wiederholgenauigkeit von ±0,1 µm zu erreichen. Unsere Portaltische sind für den 24/7-Betrieb in Reinraumumgebungen (Klasse 100/Klasse 10) konzipiert und zeichnen sich durch äußerst geringe Vibration, hohe dynamische Reaktion (maximale Geschwindigkeit 500 mm/s) und thermische Stabilität aus, um eine zuverlässige Erkennung von Waferfehlern und Dimensionsmesstechnik über den gesamten Produktionslebenszyklus hinweg zu gewährleisten.
● Kundenspezifischer XYZT-Portal-Bewegungstisch für die Wafer-Inspektion, der gemäß den Spezifikationen Ihrer Wafer-Inspektionsausrüstung und CAD-Zeichnungen entwickelt wurde
● ±1 µm Positionierungsgenauigkeit mit Wiederholgenauigkeit im Nanometerbereich (±0,1 µm) für kritische Wafermessungen
● Luftlagertechnologie für reibungslose Bewegung und keine Partikelerzeugung in Reinraumumgebungen
● Thermisch stabilisiertes Design mit aktiver Temperaturregelung (±0,01 °C) für höchste Präzision
● ISO 9001:2015-zertifizierte Fertigung mit vollständiger Rückverfolgbarkeit zur Einhaltung der Vorschriften der Halbleiterindustrie
Hauptmerkmale und Hauptvorteile
Hochsteifes mechanisches Design
Unser XYZT-Gantry-Bewegungstisch für die Wafer-Inspektion verfügt über monolithische Granitbasen (Wärmeausdehnungskoeffizient < 0,5 × 10⁻⁶/°C) und Portalträger aus kohlenstofffaserverstärktem Polymer (CFRP) für außergewöhnliche strukturelle Steifigkeit und minimale thermische Verformung. Das symmetrische Gantry-Design eliminiert den Abbe-Fehler und gewährleistet eine gleichmäßige Lastverteilung über den gesamten Wafer-Inspektionsbereich.
Präzisions-Bewegungssteuerungssystem
Unsere XYZT-Portaltische sind mit leistungsstarken Linearmotorantrieben (spielfrei, hohe Beschleunigung) und absoluten optischen Encodern (Auflösung 1 nm) ausgestattet und liefern reibungslose, präzise Bewegungen mit einer Genauigkeit im Submikrometerbereich. Der fortschrittliche Servosteuerungsalgorithmus kompensiert dynamische Fehler und gewährleistet eine Positionierungsstabilität im Nanometerbereich beim Wafer-Scannen.
Reinraumtaugliches Design
Jeder XYZT-Gantry-Bewegungstisch für die Wafer-Inspektion ist für den Betrieb in Reinräumen der Klasse 100/Klasse 10 mit vakuumkompatiblen Komponenten, versiegelten Linearführungen und Materialien mit geringer Ausgasung (gemäß SEMI S2-0701) ausgelegt. Die Luftlagertechnologie eliminiert die Partikelbildung, während das geschlossene Kabelmanagementsystem eine Kontamination bei Hochgeschwindigkeits-Wafer-Inspektionszyklen verhindert.
Technische Spezifikationen
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XYZT-Portalbühnenmodell |
Verfahrbereich (X/Y/Z/Theta) |
Leistungsangaben |
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DT-WI200 (200-mm-Wafer) |
300×300×50mm / ±3° |
±1 µm Genauigkeit, ±0,1 µm Wiederholgenauigkeit, 500 mm/s Geschwindigkeit, 5 m/s² Beschleunigung |
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DT-WI300 (300-mm-Wafer) |
400×400×75mm / ±3° |
±1,5 µm Genauigkeit, ±0,2 µm Wiederholgenauigkeit, 400 mm/s Geschwindigkeit, 4 m/s² Beschleunigung |
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DT-WI450 (450-mm-Wafer) |
500×500×100mm / ±3° |
±2 µm Genauigkeit, ±0,3 µm Wiederholgenauigkeit, 300 mm/s Geschwindigkeit, 3 m/s² Beschleunigung |
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DT-WI-Benutzerdefiniert (Benutzerdefiniert) |
Individuell nach Bedarf |
Maßgeschneiderte Genauigkeit/Wiederholbarkeit, individuelle Geschwindigkeit/Beschleunigung, spezielle Reinraumbewertung |
Mechanische Spezifikationen
Basismaterial: Schwarzer Granit (00级) / CFRP-Verbundwerkstoff
Führungssystem: Präzisionsluftlager / lineare Rollenführungen
Antriebssystem: Bürstenlose Linearmotoren / Servomotoren mit Kugelumlaufspindeln
Feedback: Absolute optische Encoder (1 nm Auflösung)
Umweltspezifikationen
● Betriebstemperatur: 20 ± 0,5 °C (aktive Wärmekontrolle)
● Reinraumklassifizierung: Klasse 100 (ISO-Klasse 5) / Klasse 10 (ISO-Klasse 4)
● Schwingungsisolierung: Aktives/passives Schwingungskontrollsystem
● Stromversorgung: 200–240 V Wechselstrom, 50/60 Hz, 1-phasig/3-phasig
Anwendungen
● Hochgeschwindigkeitsscannen von 200-mm-/300-mm-/450-mm-Wafern auf Partikel- und Musterfehler
● Positionierung auf Nanometerebene für optische/mikroskopische Defekterkennungssysteme
● Dynamische Ebenheitskompensation für die Inspektion verzogener Wafer
● Integration mit Laserscanning- und Elektronenmikroskopie-Inspektionstools
Wafer-Messtechnik
Waferdimensionale Metrologie
● Präzise Messung der Waferdicke sowie der Krümmungs- und Krümmungsparameter
● Ausrichtung im Submikrometerbereich für Overlay-Messsysteme
● Thermisch stabilisierte Positionierung für temperaturempfindliche Messtechnik
● Automatisierte Inline-Messtechnik für Wafer-Herstellungsprozesse
Waferverarbeitung
Waferverarbeitung und -handhabung
● Hochpräzise Ausrichtung für Wafer-Lithographie- und Ätzprozesse
● Reinraumtaugliche Wafer-Handling- und Transfersysteme
● Dynamische Positionierung für Laser-Dicing- und Wafer-Ausdünnungsvorgänge
● Integration mit Roboter-Waferhandhabungs- und Automatisierungssystemen
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Kontaktinformation
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Gebäude 5, Yuewang Entrepreneurship Park, Nr. 2011 Tian'e Dang Road, Hengjing Street, Wirtschaftsentwicklungszone Wuzhong, Suzhou, Provinz Jiangsu, China
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